사업Business
장비 사업
세정·검사 장비와 가스·약액 공급 설비.
장비 사업은 웨이퍼를 씻고, 살피고, 공정에 필요한 가스와 약액을 보내는 설비를 만듭니다.
장비는 제2공장에서 조립하고 출하 전 시험을 마칩니다. 설치 후에는 서비스 엔지니어가 정기 점검과 부품 공급을 맡습니다.
제품군과 적용 공정
| 제품 | 적용 공정 | 형태 |
|---|---|---|
| DWC-8 매엽식 웨이퍼 세정 장비 | 세정 | 장비 · 300mm 대응 |
| DPI-5 웨이퍼 표면 입자 검사 장비 | 검사 | 장비 · 300mm 대응 |
| DGP-2 공정 가스 정제 장치 | 식각 · 증착 | 장치 · 배관 연결형 |
| DCS-4 약액 공급 시스템 | 세정 · CMP | 시스템 · 공장 설비 연동 |
함께 제공하는 것
설치·시운전
고객사 라인 일정에 맞춰 설치하고 공정 조건을 맞춥니다.
정기 점검
점검 주기는 [점검 주기 입력]로 계약에 정합니다.
부품·개조
소모품 공급과 공정 변경에 따른 개조를 지원합니다.