사업Business
소재 사업
포토·증착·CMP·세정 공정에 들어가는 고순도 소재.
소재 사업은 공정 사이에 쓰이는 약액과 막 소재를 만듭니다.
같은 이름의 소재라도 고객사 공정 조건에 맞춰 조성과 포장 단위를 정합니다. 출하할 때마다 분석 성적서를 함께 보냅니다.
제품군과 적용 공정
| 제품 | 적용 공정 | 형태 |
|---|---|---|
| DCL-300 웨이퍼 세정용 고순도 약액 | 세정 | 액상 · 전용 용기 |
| DUL-210 포토 공정 하부막 소재 | 포토 | 액상 · 스핀 코팅 |
| DPR-410 박막 증착용 전구체 | 증착 | 액상 · 실린더 공급 |
| DSA-120 CMP 슬러리 첨가제 | CMP | 액상 · 배합용 |
함께 제공하는 것
공정 평가 지원
고객사 시험 웨이퍼로 적용 조건을 함께 찾습니다.
분석 성적서
로트마다 금속 불순물·입자 분석 결과를 첨부합니다.
용기·공급 관리
전용 용기 회수와 세척, 공급 일정 관리를 맡습니다.